[发明专利]碳化硅单晶锭生长装置有效
| 申请号： | 201910739465.1 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110820046B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 崔正宇;金政圭;具甲烈;高上基;张炳圭 | 申请（专利权）人： | 赛尼克公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B11/00 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦;金明花 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实例提供如下的碳化硅单晶锭生长装置，即，收纳有晶锭的原料的原料收纳部的内部直径小于晶种的直径，从而可以在增加碳化硅单晶锭的直径的同时提升碳化硅单晶锭的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 单晶锭 生长 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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