[发明专利]一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器

摘要

本发明提供一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器，包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜；布拉格反射器和金属薄膜依次设于二氧化硅基底上；布拉格反射器由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层由上至下交替设置而成，布拉格反射器与金属薄膜的接触面为高折射率薄膜层且设置为二氧化钛；金属薄膜的顶部设有顶部导电电极，位于顶层的高折射率薄膜层的底部设有栅状底部导电电极。提高了光子吸收率、热电子的输运效率和光电探测器的响应度；并能够通过与金属薄膜相邻的二氧化钛的厚度调节可改变探测器的响应波长和实现多窄带的光电探测；且本发明结构简单，便于生产。

主权项

1.一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器，其特征在于，包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜；所述布拉格反射器和所述金属薄膜依次设于所述二氧化硅基底上；所述布拉格反射器包含多对高折射率薄膜层和低折射率薄膜层，所述高折射率薄膜层和所述低折射率薄膜层由上至下交替设置，所述布拉格反射器顶层为高折射率薄膜层，且该层的材料为二氧化钛；所述金属薄膜的顶部一侧设有顶部导电电极，位于所述布拉格反射器顶层的所述高折射率薄膜层的底部设有栅状底部导电电极。