[发明专利]光学位移计有效
| 申请号： | 201910740376.9 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110823124B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 土田佳孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社基恩士 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙) 11406 | 代理人： | 孙德崇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种光学位移计，其即使在发生多重反射时也能够准确地测量测量对象的轮廓。在设置时，登记单元(1)登记指示测量对象的基准轮廓的基准数据，并且设置单元(2)对该基准数据设置掩模区域。在测量时，受光单元(121)接收来自测量对象的反射光，并且峰检测单元(3)检测所输出的受光量分布中的峰。轮廓生成单元(4)基于所检测到的峰的位置来生成测量对象的临时轮廓数据。校正单元(5)根据基准轮廓和基于临时轮廓数据的临时轮廓之间的位置偏移量来校正针对临时轮廓的掩模区域的位置。轮廓生成单元(4)基于通过排除校正后的掩模区域内的受光量所获得的受光量分布中的峰的位置来生成测量对象的真实轮廓数据。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位移 | ||
【主权项】：
暂无信息
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