[发明专利]一种基于PN结的谐振腔型电光调制器在审
| 申请号： | 201910743215.5 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110456529A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 陈鹤鸣;闫飞旭 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董建林<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 210003江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PN结的谐振腔型电光调制器，属于半导体技术领域，包括基底，和硅基光子晶体平板。硅基光子晶体平板中间为光子晶体波导，平板的中心区域为谐振腔，谐振腔区域外部设有正电极和负电极。谐振腔内分布有P型掺杂区和N型掺杂区。本发明提供的电光调制器，易于集成且调制速率高。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 硅基光子晶体 电光调制器 半导体技术领域 光子晶体波导 区域外部 谐振腔型 中心区域 负电极 正电极 基底 调制 | ||
【主权项】：
1.一种基于PN结的谐振腔型电光调制器，其特征在于：包括基底，和硅基光子晶体平板，所述硅基光子晶体平板中间为光子晶体波导，平板的中心区域为谐振腔，谐振腔区域外部设有正电极和负电极；所述谐振腔内分布有P型掺杂区和N型掺杂区。/n
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