[发明专利]一种基于光谱共焦的成像检测装置在审
申请号: | 201910743320.9 | 申请日: | 2019-08-13 |
公开(公告)号: | CN110412758A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 季荣;周威 | 申请(专利权)人: | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B21/08;G02B21/36;G01N21/01 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李倩 |
地址: | 211102 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于光谱共焦的成像检测装置,包括照明组件、成像组件、分色组件和多个图像探测器,照明组件发射具有不同波长的光束,不同波长的光束分别照射在被测物体沿光轴一段深度距离内的不同位置,不同波长的光束在被测物体不同深度表面反射后通过成像组件会聚后进入分色组件;分色组件将会聚后的成像光束分为不同波长的多个光束,每个波长的光束会聚在其对应的图像探测器上成像。本发明成像检测装置解决了现有成像检测中分辨率与焦深相互制约的问题,实现了物镜高分辨率下也能得到大景深的高精度测量。 | ||
搜索关键词: | 波长 成像检测装置 分色组件 图像探测器 被测物体 成像组件 照明组件 共焦 光谱 会聚 高精度测量 表面反射 成像光束 成像检测 高分辨率 光束会聚 深度距离 中分辨率 大景深 光轴 焦深 物镜 成像 照射 发射 制约 | ||
【主权项】:
1.一种基于光谱共焦的成像检测装置,其特征在于:包括照明组件、成像组件、分色组件和多个图像探测器,照明组件发射具有不同波长的光束,不同波长的光束分别照射在被测物体沿光轴一段深度距离内的不同位置,不同波长的光束在被测物体不同深度表面反射后通过成像组件会聚后进入分色组件;分色组件将会聚后的成像光束分为不同波长的多个光束,每个波长的光束会聚在其对应的图像探测器上成像。
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