[发明专利]一种基于外尔半金属和半导体复合结构的温度传感器有效
申请号: | 201910744036.3 | 申请日: | 2019-08-13 |
公开(公告)号: | CN110440947B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 上海盟希传感技术有限公司 |
主分类号: | G01K11/00 | 分类号: | G01K11/00;G01J1/42 |
代理公司: | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 刘艳玲 |
地址: | 201600 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于外尔半金属和半导体复合结构的温度传感器,包括基底层,基底层的上方设置有半导体层,半导体层的左部分上方设置有外尔半金属层,外尔半金属层的上方设置有第一电极层;半导体层的右部分上方设置有掩膜层;第一电极层与外尔半金属层为欧姆接触,所述外尔半金属层与半导体层为欧姆接触;该基于外尔半金属和半导体复合结构的温度传感器,在外尔半金属与半导体复合结构之间形成范德瓦耳斯结,当环境温度温度改变,会对范德瓦耳斯结造成影响,使得的范德瓦耳斯结产生的光生电流的强度变化,通过检测光生电流的变化,实现温度的检测;相比于现有的温度检测器不仅结构简单,而且灵敏度更高,具有更高的测量精度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 外尔半 金属 半导体 复合 结构 温度传感器 | ||
【主权项】:
1.一种基于外尔半金属和半导体复合结构的温度传感器, 其特征在于:包括基底层(1),所述基底层(1)的上方设置有半导体层(4),所述半导体层(4)的左部分上方设置有外尔半金属层(3),所述外尔半金属层(3)的上方设置有第一电极层(2);所述半导体层(4)的右部分上方设置有掩膜层(5);所述第一电极层(2)与外尔半金属层(3)为欧姆接触,所述外尔半金属层(3)与半导体层(4)为欧姆接触。
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