[发明专利]一种氧化物晶体管显示结构在审

专利信息
申请号: 201910744601.6 申请日: 2019-08-13
公开(公告)号: CN110544724A 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 李元行 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L21/34
代理公司: 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 林祥翔;徐剑兵<国际申请>=<国际公布>
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种氧化物晶体管显示结构,在氧化物半导体层SE图案设置有TFT所需的源漏极和沟道区域,其中漏极区域延伸有作为像素电极PE的透明氧化物图案,所述透明氧化物半导体为改性导体化结构,还包括顶公共电极。区别于现有技术,本发明在SE图案设置有TFT所需的源漏极+沟道区域,其中漏极区域有延伸作为像素电极PE图案,对透明氧化物半导体做掺杂or treatment进行改性,实现透明氧化物导体化作为像素电极图案。搭配顶公共电极设计,array基板制程可以减少1‑2道光罩。
搜索关键词: 透明氧化物半导体 公共电极 沟道区域 漏极区域 图案设置 像素电极 源漏极 改性 透明氧化物图案 氧化物半导体层 像素电极图案 氧化物晶体管 透明氧化物 导体 显示结构 导体化 延伸 制程 搭配 掺杂 图案
【主权项】:
1.一种氧化物晶体管显示结构,其特征在于,在氧化物半导体层SE图案设置有TFT所需的源漏极和沟道区域,其中漏极区域延伸有作为像素电极PE的透明氧化物图案,所述透明氧化物半导体为改性导体化结构,还包括顶公共电极。/n
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