[发明专利]一种防微振平台在审
| 申请号： | 201910745658.8 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110453943A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 赵广鹏;冯晓伟;胡斌;徐建雄 | 申请（专利权）人： | 世源科技工程有限公司 |
| 主分类号： | E04H5/02 | 分类号： | E04H5/02;F24F3/16;F24F13/28 |
| 代理公司： | 11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 万晓君<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100142北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防微振平台，包括沿竖直方向层叠的工艺层及回风层，工艺层位于回风层的上方。防微振平台还包括环绕设置在工艺层上的第一围护墙、以及环绕设置在回风层上的第二围护墙。防微振平台还包括设置在第一围护墙顶部且与工艺层相对的过滤器。该防微振平台还包括用于支撑所述工艺层及所述回风层且阵列排列的多个支撑柱。工艺层包括位于每排支撑柱或每列支撑柱中相邻的两个支撑柱之间的cheese板、以及位于由cheese板围成的口字形区域内的华夫板，且cheese板及华夫板上设置有与第一回风夹道连通的通孔。通过在工艺层上相邻的两个支撑柱之间设置cheese板、在由cheese板围成的口字型区域内设置华夫板，以提高工艺层上的竖向刚度，提高工艺层的防微振性能。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺层 支撑柱 微振 回风层 华夫板 围护墙 环绕设置 板围 过滤器 回风夹道 阵列排列 口字型 口字形 竖向 竖直 通孔 连通 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种防微振平台，其特征在于，包括：/n沿竖直方向层叠的工艺层(11)及回风层(12)，其中，所述工艺层(11)位于所述回风层(12)的上方；且所述工艺层(11)及所述回风层(12)间隔设置以形成第一回风夹道(13)；/n环绕设置在所述工艺层(11)上的第一围护墙(21)，以及环绕设置在所述回风层(12)上的第二围护墙(22)；所述第一围护墙(21)及所述第二围护墙(22)间隔设置以形成第二回风夹道(23)，且所述第一回风夹道(13)与所述第二回风夹道(23)连通；/n设置在所述第一围护墙(21)顶部且与所述工艺层(21)相对的过滤器(30)，且所述过滤器(30)与所述第二回风夹道(23)连通；/n用于支撑所述工艺层(11)及所述回风层(12)且阵列排列的多个支撑柱(40)；/n其中，所述工艺层(11)包括位于每排支撑柱(40)或每列支撑柱(42)中相邻的两个支撑柱(40)之间的cheese板(51)、以及位于由所述cheese板(51)围成的口字形区域内的华夫板(52)；且所述cheese板(51)及所述华夫板(52)上设置有与所述第一回风夹道(13)连通的通孔(50)。/n
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