[发明专利]一种三工位碳化硅籽晶粘接炉在审
| 申请号： | 201910747240.0 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110396718A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 李留臣;周洁;周正星;王建康 | 申请（专利权）人： | 江苏星特亮科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 刘鑫 |
| 地址： | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三工位碳化硅籽晶粘接炉，包括具有中空腔体的主体、设于中空腔体中的托盘、三个设于托盘上表面的用于承载工件的下加热盘、可上下活动的设于中空腔体中的且位于托盘上方的压盘、三个与下加热盘一一对应的设于压盘下表面的上加热盘、连接在主体上的抽真空机构、用于驱动压盘上下运动的驱动机构；压盘的顶端与驱动机构的输出端之间球面活动连接，压盘用于将压力均匀的传递至每个上加热盘上；上加热盘的上端与压盘之间球面活动连接，上加热盘用于均匀压紧工件的上表面。本发明一种三工位碳化硅籽晶粘接炉，一次对三个坩埚盖进行籽晶粘接，粘接效率较高，同时还能够保证三个坩埚盖受力均匀，每个坩埚盖上的籽晶表面受力均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 压盘 粘接 上加热盘 碳化硅籽晶 中空腔体 三工位 坩埚盖 球面活动连接 托盘 驱动机构 受力均匀 下加热盘 抽真空机构 托盘上表面 承载工件 上下活动 上下运动 压紧工件 压力均匀 籽晶表面 上表面 输出端 下表面 上端 籽晶 驱动 传递 保证 | ||
【主权项】：
1.一种三工位籽晶粘接炉，其特征在于：包括具有中空腔体的主体、设于所述中空腔体中的托盘、三个设于所述托盘上表面的用于承载工件的下加热盘、可上下活动的设于所述中空腔体中的且位于所述托盘上方的压盘、三个与所述下加热盘一一对应的设于所述压盘下表面的上加热盘、连接在所述主体上的用于为所述中空腔体抽真空的抽真空机构、连接在所述压盘上的用于驱动所述压盘上下运动的驱动机构；所述压盘的顶端与所述驱动机构的输出端之间球面活动连接，所述压盘，用于将压力均匀的传递至每个所述上加热盘上；所述上加热盘的上端与所述压盘之间球面活动连接，所述上加热盘，用于均匀压紧所述工件的上表面。
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