[发明专利]阵列基板以及其制作方法在审
申请号: | 201910747713.7 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN110518018A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 周星宇;林振国;徐源竣;吕伯彦 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人: | 黄威<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种阵列基板,包含基板、金属遮光层、导电保护层、缓冲层、晶体管和像素电极。所述导电保护层覆盖所述金属遮光层。所述缓冲层位于所述基板上并覆盖所述导电保护层。所述晶体管位于所述缓冲层上,连接所述导电保护层。所述像素电极连接所述晶体管。有效的解决了金属氧化物薄膜晶体管驱动背板铜氧化的问题,透明导电层覆盖在遮光层铜的表面,形成对铜的保护,防止铜氧化,避免铜的扩散,减少蚀刻对铜的伤害,减小遮光层铜剥离的风险。 | ||
搜索关键词: | 导电保护层 缓冲层 晶体管 金属遮光层 像素电极 铜氧化 遮光层 基板 覆盖 金属氧化物薄膜晶体管 蚀刻 透明导电层 驱动背板 阵列基板 减小 剥离 扩散 伤害 | ||
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,包含:/n基板;/n金属遮光层,位于所述基板上;/n导电保护层,覆盖所述金属遮光层;/n缓冲层,位于所述基板上并覆盖所述导电保护层;/n晶体管,位于所述缓冲层上,连接所述导电保护层;以及/n像素电极,连接所述晶体管。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的