[发明专利]临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法在审
| 申请号： | 201910748742.5 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112395910A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 陈辉腾;尹又生;金艳慧;刘涛;吴晓宁;许弈佳;郭晓娜;王哲忠;陈有证;谈文毅 | 申请（专利权）人： | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 徐协成 |
| 地址： | 361100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统与控制方法。临界尺寸扫描电子显微镜的控制系统。控制系统包括一智能图像识别单元、一处理单元及一远程操作单元。智能图像识别单元用以提取一屏幕画面，并自动辨识一警告事件的类型。处理单元用以在屏幕画面的一显示区域自动搜寻一目标图案。若在屏幕画面的显示区域自动搜寻到目标图案，则远程操作单元自动移动目标图案至显示区域的中心。 | ||
| 搜索关键词： | 临界 尺寸 扫描 电子显微镜 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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