[发明专利]一种压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910749474.9 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110440960A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陈巧 | 申请（专利权）人： | 苏州知芯传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 党丽 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器及其制造方法，在压力敏感膜中形成了掺杂的压阻条，该压阻条的旁侧的压力敏感膜中形成有凹陷区，这样，使得压阻条与同一平面上的压力敏感膜分隔开，在纵向上仅形成压阻条与衬底之间的理想平行平面PN结，阻止压阻条与横向的压力敏感膜形成PN结，从而，降低或避免由该横向非理想的PN结导致的漏电，提高传感器的稳定性及长期可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻 压力敏感膜 压力传感器 长期可靠性 漏电 平行平面 凹陷区 掺杂的 非理想 传感器 衬底 分隔 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括：支撑结构，所述支撑结构中设置有参考压力腔；所述支撑结构上的半导体层，所述参考压力腔之上的半导体层为压力敏感膜；位于所述压力敏感膜上的掺杂的压阻条；位于所述压阻条旁侧的压力敏感膜中的凹陷区。
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