[发明专利]一种硅片检测工装在审
| 申请号： | 201910749562.9 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112387605A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 刘爱军;曹丙强;庄艳歆;周浪 | 申请（专利权）人： | 江苏金晖光伏有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/342;B07C5/36 |
| 代理公司： | 扬州润中专利代理事务所(普通合伙) 32315 | 代理人： | 张琳 |
| 地址： | 225600 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片检测工装，涉及硅片生产技术领域，具体为一种硅片检测工装，包括机架，所述机架的一侧设置有检测底座，所述机架靠近检测底座一侧的外壁开设有滑动槽，所述检测底座侧面固定连接有连接板。该硅片检测工装，通过支撑杆以及移动杆的配合使用，使硅片可以旋转，从而达到可以对硅片的两面进行观察检测的目的，无需在检测完硅片的一面后再拿起硅片翻转，避免硅片在多次取拿的过程中损坏，且利用底板与气囊可以将硅片固定，由于气囊的内部设置有气压传感器，有效避免了气囊对硅片的压力过大导致硅片损坏的情况，保证了检测过程中硅片的完好性，同时也提高了硅片检测的便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 检测 工装 | ||
【主权项】：
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