[发明专利]半导体结构及其形成方法在审
| 申请号： | 201910749782.1 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112397451A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张城龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/8234 | 分类号： | H01L21/8234;H01L27/088 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种半导体结构及其形成方法，形成方法包括：提供包括多个相邻的器件单元区的基底，基底上形成有横跨多个器件单元区的初始器件栅极结构；刻蚀相邻器件单元区交界处的部分厚初始器件栅极结构，形成顶部开口；在顶部开口侧壁上形成侧墙层；刻蚀侧墙层露出的剩余初始器件栅极结构，在剩余初始器件栅极结构内形成露出基底的底部开口，且剩余初始器件栅极结构作为器件栅极结构；在顶部开口和底部开口内形成隔离结构。侧墙层用于调节底部开口的宽度，使底部开口宽度小于顶部开口宽度，因此能够适当增大顶部开口宽度，以增大形成顶部开口的工艺窗口，从而使相邻器件单元区较好地实现隔离，同时提高器件栅极结构的完整性，进而有利于提高晶体管的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 结构 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
