[发明专利]一种高反射镜面形的测量装置在审
| 申请号： | 201910751630.5 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110455501A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 宋治平 | 申请（专利权）人： | 南京茂莱光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 李倩<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 211102江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高反射镜面形的测量装置，包括光源、分光片、准直仪、标准镜以及CCD成像系统；标准镜的前表面镀有分光膜；光源发出的光束通过分光片后由准直仪将点光源转换成平行光，平行入射光Io在经过标准镜时，一部分光线由镀有分光膜的标准镜反射返回，另一部分光线通过标准镜后到达被测镜表面，由被测镜表面反射回来，由镀有分光膜标准镜反射返回的光线IR与由被测镜表面反射回来的光线在穿过标准镜后的光线It形成干涉光线返回至分光片，通过分光片反射后进入CCD成像系统，两路相干光的强度比It/IR为0.2～1。 | ||
| 搜索关键词： | 标准镜 分光片 被测镜 分光膜 反射 表面反射 准直仪 返回 光源 测量装置 高反射镜 光束通过 光线通过 点光源 平行光 前表面 强度比 入射光 相干光 两路 面形 平行 穿过 干涉 转换 | ||
【主权项】：
1.一种高反射镜面形的测量装置，其特征在于：包括光源、分光片、准直仪、标准镜以及CCD成像系统；标准镜的前表面镀有分光膜；光源发出的光束通过分光片后由准直仪将入射光照射在标准镜上，入射光Io在经过标准镜时，一部分光线由镀有分光膜的标准镜反射返回，得到标准反射光线IR，另一部分光线通过标准镜后到达被测镜表面，由被测镜表面反射回来后再透过标准镜得到测量反射光线It，标准反射光线IR与测量反射光线It形成干涉光线返回至分光片，通过分光片反射后进入CCD成像系统，两路相干光的强度比It/IR为0.2～1。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京茂莱光学科技股份有限公司，未经南京茂莱光学科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910751630.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
