[发明专利]一种热场稳定的单晶炉在审
申请号: | 201910751829.8 | 申请日: | 2019-08-15 |
公开(公告)号: | CN110359082A | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 胡正阳 | 申请(专利权)人: | 胡正阳 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B30/04;C30B29/06 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 范国刚 |
地址: | 236000 安徽省阜阳*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及光伏设备技术领域,且公开了一种热场稳定的单晶炉,包括炉体,所述炉体的顶部固定安装有上炉,所述炉体内腔的底面固定安装有籽晶杆固定装置,籽晶杆固定装置的底部固定安装有籽晶杆,炉体内腔的底部活动套装有轴杆,轴杆的顶部固定安装有轴座,轴座的顶部固定安装有导温容器。本发明单晶炉因为隔离套与炉体内壁之间形成倾斜锐角,实现了对环形磁铁的位置自动调整至单晶炉的中心处,保证了籽晶杆始终处于石英坩埚的轴心处,增加了单晶硅柱提纯的质量,而向下作用力将增加保温罩对石英沙层的作用力,从根本上增加了保温罩的稳定性,保证了保温罩不会偏移,增加了热场的稳定,保证了单晶硅柱提纯的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 籽晶杆 保温罩 热场 单晶硅 固定装置 炉体内腔 柱提纯 炉体 轴杆 轴座 位置自动调整 向下作用力 导温容器 底部活动 光伏设备 环形磁铁 炉体内壁 倾斜锐角 石英沙层 石英坩埚 隔离套 中心处 轴心处 偏移 保证 底面 上炉 | ||
【主权项】:
1.一种热场稳定的单晶炉,包括炉体(1),所述炉体(1)的顶部固定安装有上炉(11),所述炉体(1)内腔的底面固定安装有籽晶杆固定装置(12),所述籽晶杆固定装置(12)的底部固定安装有籽晶杆(121),所述炉体(1)内腔的底部活动套装有轴杆(13),所述轴杆(13)的顶部固定安装有轴座(131),所述轴座(131)的顶部固定安装有导温容器(14),所述导温容器(14)的外部活动套装有加热电阻丝圈(15),所述加热电阻丝圈(15)的内腔填充有石英沙层(16),所述石英沙层(16)的中部放置有石英坩埚(17),所述石英坩埚(17)的顶部活动连接有保温罩(18),其特征在于:所述保温罩(18)外圈的中部固定套装有环形磁铁(2),所述炉体(1)的内壁固定安装有磁力环(21),所述磁力环(21)的形状为由若干个电磁铁(212)围成的多微元的圆环状,所述磁力环(21)与炉体(1)内壁之间形成的角为锐角,所述环形磁铁(2)上升的最高处与磁力环(21)的高度一致,所述环形磁铁(2)与磁力环(21)之间侧面的磁极相同。
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