[发明专利]一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法在审
| 申请号： | 201910752343.6 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110303242A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 周天丰;刘朋;阮本帅;颜培;梁志强;刘志兵;解丽静;焦黎;王西彬 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张琳丽 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，涉及光学玻璃微透镜切割技术领域，包括：步骤1：根据待切割材料即光学玻璃微透镜，选择合适的折射率匹配液；步骤2：将折射率匹配液放置于开口容器内，根据待切割材料的整体结构和表面微结构尺寸，选择合适的折射率匹配液深度，并将待切割材料放置于折射率匹配液内；步骤3：开启激光切割装置，采用连续/脉冲激光，将激光焦点经过折射率匹配液入射至光学玻璃微透镜材料内部，通过激光焦点所产生的热应力，完成切割分离。本发明提供的折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，避免了光学玻璃微透镜表面结构使激光焦点产生二次折射的问题，使光学玻璃微透镜的激光切割效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 光学玻璃 折射率匹配液 微透镜 激光切割 待切割材料 激光焦点 激光切割装置 切割技术领域 表面微结构 微透镜表面 微透镜材料 开口容器 脉冲激光 切割分离 热应力 入射 折射 | ||
【主权项】：
1.一种折射率匹配液辅助光学玻璃微透镜激光切割方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1：根据待切割光学玻璃微透镜的材料，选择同光学玻璃微透镜材料的折射率相同或相近的折射率匹配液；其典型的折射率匹配液组成成分为水和亚甲基碘氟化物；步骤2：将折射率匹配液放置于开口容器内，根据待切割分离光学玻璃微透镜的整体结构和表面微结构尺寸，选择合适的折射率匹配液深度，并将光学玻璃微透镜水平放置于折射率匹配液内；步骤3：开启激光切割装置，采用连续/脉冲激光，将激光焦点经过折射率匹配液入射至光学玻璃微透镜材料内部，并使材料吸收激光能量，在光学玻璃微透镜内部产生高温区域，移动激光焦点，从而完成切割分离。
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