[发明专利]一种蚀刻液循环再利用工艺

摘要

本发明涉及蚀刻液回收领域，具体涉及一种蚀刻液循环再利用工艺，包括以下步骤：对酸性含铜蚀刻废液进行一次双氧水处理，对酸性含铜蚀刻废液和碱性含铜蚀刻废液进行酸碱中和处理再压滤，生成滤饼和滤液；对滤饼进行打浆再加入98％的硫酸，生成硫酸铜、水和盐酸，硫酸铜结晶后进行离心脱水处理，产生五水合硫酸铜和硫酸铜母液，沉淀滤液并输送到离子交换池，进行离子交换，废液输送到搅拌桶中，投入适量固态物料后搅拌使其充分混合溶解，生产结束后，分别将蚀刻子液和退锡水泵入储罐；该工艺通过离子交换‑氧化曝气‑离子交换的步骤高效率地置换含铜蚀刻废液中的铜离子，从而配置出再生蚀刻液，同时可以生成副产品五水合硫酸铜，具有很高的经济价值。

主权项

1.一种蚀刻液循环再利用工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、对酸性含铜蚀刻废液进行一次双氧水处理，使废液中的一价铜转化为二价铜；步骤二、在中和反应罐中对酸性含铜蚀刻废液和碱性含铜蚀刻废液进行酸碱中和处理；步骤三、通过压滤机对中和处理后的溶液进行压滤，生成滤饼和滤液；步骤四、通过打浆机对压滤产生的滤饼进行滤饼打浆；步骤五、在酸溶解反应釜中对打浆产生的溶液加入98％的硫酸进行酸溶解反应，生成硫酸铜、水和盐酸，然后冷却酸溶解反应釜；步骤六、硫酸铜溶液进入结晶池结晶；步骤七、通过离心脱水机对硫酸铜结晶和水进行离心脱水处理，产生五水合硫酸铜和硫酸铜母液，离心脱水机脱出的硫酸铜母液通过硫酸铜母液循环装置进行分流，低含氯硫酸铜母液输送到打浆机，离心脱水机脱出的高含氯硫酸铜母液输送到中和反应罐；步骤八、在滤液沉淀池中对压滤工序产生的滤液进行沉淀，沉淀物输送到压滤机；步骤九、将滤液输送到离子交换池，通过离子交换柱进行离子交换；步骤十、经过离子交换后产生的废液输送到搅拌桶中，投入适量固态物料后搅拌使其充分混合溶解，生产结束后，分别将蚀刻子液和退锡水泵入储罐；步骤十一、通过盐酸对离子交换柱进行反洗再生，产生的再生废水输送到中和反应罐。