[发明专利]一种光刻投影物镜及光刻机

摘要

本发明实施例提供一种光刻投影物镜及光刻机，所述光刻投影物镜包括沿光轴且由物面指向像面顺次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组和第四透镜组；所述第一透镜组的焦距为f1，所述第二透镜组的焦距为f2，所述第三透镜组的焦距为f3，所述第四透镜组的焦距为f4，f1、f2、f3和f4满足关系式一或者关系式二；关系式一为：3.50＜|f1/f2|＜4.50，1.35＜|f2/f3|＜1.75，0.10＜|f3/f4|＜0.50，1.45＜|f1/f4|＜1.85；关系式二为：3.20＜|f1/f2|5.10，0.25＜|f2/f3|＜0.75，0.01＜|f3/f4|＜0.30，0.05＜|f1/f4|＜0.40。本发明实施例提供一种光刻投影物镜及光刻机，以实现扩大曝光视场的同时还能够实现高的分辨率。