[发明专利]消激光散斑装置及扫描投影设备在审

专利信息
申请号: 201910753163.X 申请日: 2019-08-15
公开(公告)号: CN110376755A 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 刘明欢;冯东洋;刘风雷 申请(专利权)人: 浙江水晶光电科技股份有限公司
主分类号: G02B27/48 分类号: G02B27/48;G03B21/20;G02B27/12;G02B27/09;G02B26/10
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 肖苏宸
地址: 318000 浙江省台州市椒*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种消激光散斑装置及扫描投影设备,涉及投影设备技术领域,所述消激光散斑装置包括:非偏振分束器、偏振态转换机构、偏振合束器;非偏振分束器用于将呈第一偏振态的入射光分束成第一子光束和第二子光束;第一子光束能够射入偏振合束器,第二子光束能够穿过偏振态转换机构后射入偏振合束器;偏振合束器用于将第一子光束和第二子光束合束;偏振态转换机构包括与入射光的波长对应的半波片,用于将经过半波片的第二子光束由第一偏振态转变为第二偏振态,第二子光束所走过的路径的长度与第一子光束所走过的路径的长度的差值大于入射光的相干长度,消除投影光束的相干性,因此合成后散斑强度大大降低。
搜索关键词: 子光束 偏振合束器 偏振态转换 激光散斑 偏振态 入射光 非偏振分束器 扫描投影设备 半波片 射入 投影光束 投影设备 相干性 波长 分束 合束 散斑 相干 穿过 合成
【主权项】:
1.一种消激光散斑装置,其特征在于,所述消激光散斑装置包括:非偏振分束器(110)、偏振态转换机构(120)、偏振合束器(130);所述非偏振分束器(110)用于将呈第一偏振态的入射光分束成第一子光束(141)和第二子光束(142);所述第一子光束(141)能够射入所述偏振合束器(130),所述第二子光束(142)能够穿过所述偏振态转换机构(120)后射入所述偏振合束器(130);所述偏振合束器(130)用于将第一子光束(141)和第二子光束(142)合束;所述偏振态转换机构(120)包括与入射光的波长对应的半波片(122),用于将经过所述半波片(122)的第二子光束(142)由第一偏振态转变为第二偏振态,所述第一偏振态和第二偏振态中,其一为p偏振态,另一为s偏振态;所述第二子光束(142)所走过的路径的长度与所述第一子光束(141)所走过的路径的长度的差值大于所述入射光的相干长度。
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