[发明专利]一种触摸屏金属线的制作方法有效
| 申请号： | 201910754319.6 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110647255B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 李思拥;谢为芝;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 廖苑滨;刘爱珍 |
| 地址： | 516600 广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种触摸屏金属线的制作方法，制作方法包括以下步骤：a.以氩气为工作气体，依次在玻璃基板上溅镀第一Mo层、中间Al层、第二Mo层；b.采用硝酸‑磷酸‑乙酸体系蚀刻液对溅镀好的Mo‑Al‑Mo层进行蚀刻；所述硝酸的质量百分比为8~11%；其中，在溅射第一Mo层和第二Mo层时，分别向溅镀体系中通入氧气；在溅镀第二Mo层时的通氧量等于溅镀第一Mo层时的通氧量。本申请在分别溅射第一Mo层和第二Mo层时，向溅镀体系中通入氧气，通过控制溅镀第一Mo层和第二Mo层时溅镀体系中的通氧量，并控制硝酸‑磷酸‑乙酸体系蚀刻液的质量百分比，得到的金属线的结构无底切现象，爬坡效果非常好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触摸屏 金属线 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种触摸屏金属线的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：/na. 以氩气为工作气体，依次在玻璃基板上溅镀第一Mo层、中间Al层、第二Mo层；/nb. 采用硝酸-磷酸-乙酸体系蚀刻液对溅镀好的Mo-Al-Mo层进行蚀刻；/n所述硝酸-磷酸-乙酸体系蚀刻液，其中硝酸的质量百分比为8~11%；/n其中，在溅射第一Mo层和第二Mo层时，分别向溅镀体系中通入氧气； 在溅镀第二Mo层时通入的氧气与氩气的比值等于溅镀第二Mo层时通入的氧气与氩气的比值；在分别溅射第一Mo层和第二Mo层时，向溅镀体系中通入的氧气的气体量相同。/n
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