[发明专利]产生极紫外辐射的装置在审
| 申请号： | 201910758158.8 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110837206A | 公开（公告）日： | 2020-02-25 |
| 发明（设计）人： | 许峻嘉;郑博中;陈立锐;简上傑;苏彦硕;谢劼;杨基 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种产生极紫外(EXTREME ULTRAVIOLET；EUV)辐射的装置，其包含液滴产生器、激发激光源、能量检测器以及回授控制器。液滴产生器是配置以产生目标液滴。激发激光源是配置以产生预脉冲和主脉冲，以通过加热来将目标液滴转换为电浆。能量检测器是配置以量测当目标液滴被转换为电浆时所产生的极紫外能量的偏差。回授控制器是配置以基于极紫外能量的偏差来调整透过激发激光源所产生的后续预脉冲和主脉冲间的时间延迟，极紫外能量的偏差是透过给定主脉冲来产生。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 紫外 辐射 装置 | ||
【主权项】：
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