[发明专利]一种干燥设备在审
申请号: | 201910758373.8 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN110425833A | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 陈兴松;陈光林;曹泽域 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B21/08;F26B21/10;F26B23/00;F26B25/10 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种干燥设备,包括:箱体,箱体内限定有一侧开口的腔室;箱门,箱门设在箱体上以开启或封闭腔室;储存架,储存架可移动地设在腔室中,储存架上有用于盛放游星轮的容纳腔;湿温传感器,用于感测腔室中的温度和湿度;加热装置,用于加热腔室;除湿装置,用于除去腔室中的湿气;控制器,控制器用于控制加热装置和除湿装置的开启或关闭。根据本发明的干燥设备,能够将清洗后的游星轮放置于容纳腔中,便于游星轮的储放,避免随意挂置或堆叠造成的摩擦划伤和沾染颗粒杂物,可以通过加热装置或除湿装置除去箱体中的腔室内的湿气,使得腔室保持干燥,避免游星轮生锈,能够减少因游星轮而引起的硅片产品出现划伤、不均、裂纹和破片的问题。 | ||
搜索关键词: | 游星轮 腔室 除湿装置 干燥设备 储存架 湿气 加热装置 控制器 容纳腔 划伤 箱门 控制加热装置 湿温传感器 封闭腔室 感测腔室 加热腔室 颗粒杂物 可移动地 硅片 沾染 生锈 堆叠 挂置 破片 盛放 清洗 开口 摩擦 室内 | ||
【主权项】:
1.一种干燥设备,其特征在于,包括:箱体,所述箱体内限定有一侧开口的腔室;箱门,所述箱门设在所述箱体上以开启或封闭所述腔室;储存架,所述储存架可移动地设在所述腔室中,所述储存架上形成有用于盛放游星轮的容纳腔;湿温传感器,用于感测所述腔室中的温度和湿度;加热装置,用于加热所述腔室;除湿装置,用于除去所述腔室中的湿气;控制器,所述控制器用于控制所述加热装置和所述除湿装置的开启或关闭。
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