[发明专利]一种石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试装置及方法有效
| 申请号： | 201910758391.6 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110632488B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 范雪;黄文超;刁东风 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 王永文;温宏梅 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试装置及方法，其中，所述装置包括层叠设置的金属底座、P型硅基片、石墨烯纳晶碳膜，以及与所述石墨烯纳晶碳膜可接触的导电探针，所述金属底座和所述石墨烯纳晶碳膜通过导电银浆电连接，所述导电探针与金属底座电连接。本发明基于导电探针与石墨烯纳晶碳膜在不同的接触阶段，采用定压模式和变压模式对石墨烯纳晶碳膜分别进行接触电特性测试，测得相应的电特性数据。通过对石墨烯纳晶碳膜接触电特性进行测试发现，石墨烯纳晶碳膜的平均纳晶尺寸越大呈现出更好的导电性能，对石墨烯纳晶碳膜在微纳器件的表面应用具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 烯纳晶碳膜 接触 特性 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯纳晶碳膜接触电特性的测试装置，其特征在于，包括金属底座、P型硅基片、石墨烯纳晶碳膜，以及与所述石墨烯纳晶碳膜可接触的导电探针，所述金属底座和所述石墨烯纳晶碳膜通过导电银浆电连接，所述导电探针通过导线与金属底座电连接。/n
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