[发明专利]投影系统、曝光设备在审
| 申请号： | 201910758588.X | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110501868A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 邓银;荐莉莉;王雪燕 | 申请（专利权）人： | 银月光学(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03B21/20 | 分类号： | G03B21/20;G03B21/28;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 柴亮;张天舒<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种投影系统、曝光设备，属于曝光技术领域，其可至少部分解决现有的直写曝光技术效率低、成本高的问题。本发明实施例的投影系统包括：第一投影单元，用于将来自n个光源的光投射至图案单元，并在图案单元上形成对应的n个第一光斑，其中，各第一光斑沿第一方向间隔排列，且在垂直于第一方向的第二方向上相互对齐，n为大于或等于2的整数；第二投影单元，用于将来自图案单元的光投射向分光单元；分光单元，用于对来自第二投影单元的、对应不同第一光斑的光进行分光，并在待曝光基板上形成对应的n个第二光斑，其中，任意两个第二光斑在第三方向上至少部分错开设置，所述第三方向对应图案单元上的第二方向。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 图案单元 投影单元 分光单元 曝光技术 投影系统 光投射 待曝光基板 错开设置 方向间隔 曝光设备 对齐 分光 直写 光源 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种投影系统，其特征在于，包括：/n第一投影单元，用于将来自n个光源的光投射至图案单元，并在图案单元上形成对应的n个第一光斑，其中，各第一光斑沿第一方向间隔排列，且在垂直于第一方向的第二方向上相互对齐，n为大于或等于2的整数；/n第二投影单元，用于将来自图案单元的光投射向分光单元；/n分光单元，用于对来自第二投影单元的、对应不同第一光斑的光进行分光，并在待曝光基板上形成对应的n个第二光斑，其中，任意两个第二光斑在第三方向上至少部分错开设置，所述第三方向对应图案单元上的第二方向。/n
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