[发明专利]一种基于渐变波导层的小功率激光器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910758929.3 申请日: 2019-08-16
公开(公告)号: CN112398002B 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 刘飞;朱振;张新;于军;张东东 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/34 分类号: H01S5/34;H01S5/343
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 赵龙群
地址: 250101 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种基于渐变波导层的小功率激光器及其制备方法,激光器中(Al1‑x3Gax3)y1In1‑y1P下限制层和(Al1‑x5Gax5)y3In1‑y3P下波导层之间设置有(Al1‑x4Gax4)y2In1‑y2P组分渐变下波导层;(Al1‑x10Gax10)y6In1‑y6P上波导层和Al1‑x12Inx12P上限制层之间设置有(Al1‑x11Gax11)y7In1‑y7P组分渐变上波导层。本发明采用半渐变半稳定非对称宽波导结构降低波导层与限制层界面的势垒尖峰,保证量子阱发光区稳定生长;减少空穴对光的吸收,提高发光效率。
搜索关键词: 一种 基于 渐变 波导 功率 激光器 及其 制备 方法
【主权项】:
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