[发明专利]散射参数测量方法及器件校准方法

摘要

本发明揭示了一种散射参数测量方法及器件校准方法，所述测量方法包括：制备N个标准结构件，标准结构件包括GSG PAD及长度为LN且互不相等的传输线；测量N个标准结构件的散射参数SN；将散射参数SN转化为ABCD参数；根据变量Z1和Y2构造标准结构件中GSG PAD的ABCD矩阵；根据变量γ和Z0构造标准结构件中长度为LN的传输线的ABCD矩阵；构造标准结构件的ABCD矩阵；求解变量Z1、Y2和/或变量γ、Z0；获取GSG PAD的ABCD参数和/或任意长度LX传输线的ABCD参数；将ABCD参数转化为散射参数S。本发明通过至少两根不同长度传输线的散射参数，即可实现任意长度传输线及GSG PAD散射参数测量，测量精度较高，大大提高了散射参数测量的灵活性，测量得到的散射参数能够广泛应用于器件的校准。

主权项

1.一种散射参数测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：/n制备N个标准结构件，标准结构件包括GSG PAD及长度为L_N且互不相等的传输线，其中，N≥2；/n测量N个标准结构件的散射参数S_N；/n将散射参数S_N转化为ABCD参数/n根据变量Z₁和Y₂构造标准结构件中GSG PAD的ABCD矩阵其中，Z₁＝1/Y₁，Y₁和Y₂为标准结构件等效模型中的导纳；/n根据变量γ和Z₀构造标准结构件中长度为L_N的传输线的ABCD矩阵其中，γ为电磁波的传播常数，Z₀为传输线的特征阻抗；/n根据和构造标准结构件的ABCD矩阵/n根据求解变量Z₁、Y₂和/或变量γ、Z₀；/n根据变量Z₁、Y₂获取GSG PAD的ABCD参数和/或根据变量γ、Z₀获取任意长度L_X传输线的ABCD参数；/n将GSG PAD的ABCD参数和/或任意长度L_X传输线的ABCD参数转化为散射参数S。/n