[发明专利]一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液有效
| 申请号： | 201910764288.2 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110344062B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 徐杨;邵勇;陈林;朱龙;何家苗;赵丹;顾玲燕 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44;C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液，其主要组分包括氧化性酸、氟化物和水，按重量百分比计，栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液中氧化性酸的含量为：硝酸2.5～8％、高氯酸0～1％；氟化物的主要组成为氟化铵和氟化氢。该栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液增加硝酸含量并相应的降低高氯酸的含量，降低高氯酸生产运输过程中的爆炸风险，同时有助于降低钛铝钛金属膜用蚀刻液的生产成本；基于氧化性酸组分的改变，在原有氟化铵的基础上添加氟化氢形成缓冲溶液体系，降低底层钛的蚀刻速度，使钛铝钛层叠金属膜刻透时间的控制更趋精确和稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 钛铝钛 层叠 金属膜 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液，其特征在于，其主要组分包括氧化性酸、氟化物和水，按重量百分比计，栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液中氧化性酸的含量为：硝酸2.5～8％、高氯酸0～1％；氟化物的主要组成为氟化铵和氟化氢。
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