[发明专利]探针卡在审
| 申请号： | 201910767244.5 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112415239A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 徐文元;周士莹;张思颖 | 申请（专利权）人： | 汉民测试系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针卡，用以检测待测晶圆，其包含光输出元件可连接于定位元件，该光输出元件设置于具有通孔的电性检测基板的通孔，且以光纤将光输出元件与光源控制单元连接，可将输出光从光源控制单元传输至光输出元件，其中，定位元件可使光输出元件进行三维空间移动或调整与光输出元件的中心轴线的夹角角度，因此在硅光晶圆测试时，可同时进行光检测及电检测。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
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