[发明专利]离子布植装置及方法有效
| 申请号： | 201910768322.3 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111105969B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 黄俊荣;褚立新;蔡柏沣;彭宣翰;徐光宏;陈宗纬;徐永璘 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭示案的实施例描述一种离子布植装置及方法，即用于离子布植(ion implantation；IMP)制程的系统及方法。系统包括离子植入机、倾斜机构、离子收集设备，及控制单元。离子植入机经配置以在靶上以一角度范围扫描离子束。倾斜机构经配置以支撑该靶并使该靶倾斜。离子收集设备经配置以自靶上的离子束扫描收集喷射离子的分布及数目。控制单元经配置以基于校正角度来调整倾斜角度，校正角度是基于喷射离子的分布及数目确定的。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 装置 方法 | ||
【主权项】：
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