[发明专利]PERC电池清洗制绒工艺及系统

摘要

本发明公开了一种PERC电池清洗制绒工艺，将硅片依次通过前酸清洗→纯水清洗→臭氧水清洗→粗抛→纯水清洗→臭氧水清洗→制绒→纯水清洗→臭氧水清洗→纯水清洗→后酸清洗→纯水清洗→慢提拉→烘干。本发明使用酸溶液、臭氧水、纯水进行分步处理，可以有效解决PERC电池制绒过程中硅片绒面表面出现白点、齿印、脏污清洗不干净的问题，同时制备的金字塔大小均匀，绒面反射率低。而且清洗制绒工序整体时间缩短，能耗减小，产量变大。同时化学品种类及使用量小，解决了部分环境污染问题。

主权项

1.一种PERC电池清洗制绒工艺，其特征在于，包括以下步骤：。步骤(1)、将原始硅片放入到前酸洗槽进行前酸清洗处理；步骤(2)、将步骤(1)酸洗后的硅片放入到第一纯水清洗槽进行纯水清洗；步骤(3)、在臭氧水洗槽将步骤(2)纯水清洗后的硅片进行第一次臭氧水清洗处理；步骤(4)、在粗抛槽将步骤(3)臭氧水清洗处理后的硅片进行粗抛处理；步骤(5)、将步骤(4)粗抛后的硅片放入到第二纯水清洗槽进行纯水清洗；步骤(6)、在臭氧水洗槽将步骤(5)粗抛后的硅片进行第二次臭氧水清洗处理；步骤(7)、在制绒槽将步骤(6)臭氧水清洗后的硅片进行制绒处理；步骤(8)、将步骤(7)制绒后的硅片放入到第三纯水清洗槽进行纯水清洗；步骤(9)、在臭氧水洗槽将步骤(8)纯水清洗后的硅片进行第三次臭氧水清洗处理；步骤(10)、将步骤(9)臭氧水清洗处理后的硅片放入到第四纯水清洗槽进行纯水清洗；步骤(11)、将步骤(10)纯水清洗处理后的硅片放入到后酸洗槽进行后酸清洗处理；步骤(12)、将步骤(11)后酸清洗处理后的硅片放入到第五纯水清洗槽进行纯水清洗；步骤(13)、将步骤(12)纯水清洗后的硅片放入到慢提拉槽进行预脱水；步骤(14)、将步骤(13)预脱水后的硅片放入到烘干槽进行烘干。