[发明专利]一种悬浮石墨烯转移方法有效
| 申请号： | 201910773373.5 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110330013B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李雪松;牛宇婷;青芳竹;刘春林 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B32/186 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李亚男 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种悬浮石墨烯转移方法，属于悬浮石墨烯制备技术领域。其包括以下步骤：将掩模材料固定在通过化学气相沉积法生长有石墨烯的金属基底上，在石墨烯上方蒸镀金属；蒸镀金属完成后取下掩模材料，将具有金属/石墨烯/金属基底的结构层置于刻蚀液中将金属基底刻蚀后，形成具有金属/石墨烯的结构层；对具有金属/石墨烯的结构层进行漂洗，然后采用中空基底将其捞出，并进行干燥。本发明采用多种掩模材料来对石墨烯表面进行蒸镀金属，这些掩模材料固定在石墨烯表面蒸镀金属后可以得到不同面积的裸露石墨烯，经刻蚀转移后可得到不同悬浮面积的石墨烯，实现面积可控的悬浮石墨烯转移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 石墨 转移 方法 | ||
【主权项】：
1.一种悬浮石墨烯转移方法，其特征在于，其包括以下步骤：(1)将掩模材料固定在通过化学气相沉积法生长有石墨烯的金属基底上，在石墨烯上方蒸镀金属；(2)蒸镀金属完成后取下掩模材料，将具有金属/石墨烯/金属基底的结构层置于刻蚀液中将金属基底刻蚀后，形成具有金属/石墨烯的结构层；(3)对具有金属/石墨烯的结构层进行漂洗，然后采用中空基底将其捞出，并进行干燥。
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