[发明专利]一体化傅里叶变换光致发光光谱仪

摘要

一种一体化傅里叶变换光致发光光谱仪，其特点在于由安装在同一个底板上的样品布放模块、内置泵浦光源模块、光致发光光路模块、干涉仪模块和控制处理模块组成，这些模块分别实现待检测样品安放与空间调节；自带两个不同光波长光致发光泵浦光；光致发光信号的产生与高效收集；光致发光光谱信号的检测；以及激光器输出控制与显示、光谱电信号的采样与傅里叶变换、光谱显示存储及与外部通讯。本发明具有小型、一体化、自带双泵浦光源、光路预准直免调试、高传输效率、按预设位置调整样品即可开机测试等特点，消除了光致发光光谱测试光路难优化易偏离、光谱信号弱难分辨的局限，在微电子、光电子、新材料等领域具有广阔应用前景。

主权项

1.一体化傅里叶变换光致发光光谱仪，其特征在于由样品布放调控、内置泵浦光源、光致发光光路、干涉仪、以及控制处理与显示存储等5个功能模块组成，安装在同一个底板上。5个模块功能可通过不同的光、机、电组件配置实现：模块1包括三维空间调节平台(10)和待测样品前表面的水平面投影位置标识(11)；模块2包括两个不同输出波长的激光器(20和21)；模块3包括第一平面反射镜(30)、二向色滤光片31、会聚透镜(组)33、第二平面反射镜(34)、第一沿汇聚光束方向中心开孔的离轴抛物面反射镜(35)、第二和第三离轴抛物面反射镜(36和37)、第三平面反射镜(38)和长波通光学滤光片39；模块4包括分束器(40)、运动反射镜(41)、固定反射镜(42)、离轴抛物面反射镜(43)和光检测器(44)；模块5是控制、信号处理与光谱显示、存储及与外部数据通讯模块。/n