[发明专利]一种旋转式多位阻蒸舟在审
| 申请号： | 201910776596.7 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110453182A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 任海宾;党亚军 | 申请（专利权）人： | 南阳光驰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 473000河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明创造涉及真空镀膜技术领域，提出一种旋转式多位阻蒸舟。包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极；在旋转盘的顶面中心位置处，在旋转盘的顶面边缘位置处，设置有若干个分电极，在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟，在每个分电极的下方设置有一个导电柱，在所述旋转盘的底面中心位置处，同轴设置有一个环形的开关电极，开关电极通过导电棒与上公用电极连接，旋转盘的底部中心与一个转动轴上端连接固定，转动轴下端与一个伺服电机传动连接。本发明创造与传统的单位阻蒸舟相比较，可实现对多种不同的膜料进行加热、蒸发，采用一次抽真空，多工位旋转，从而达到工件多次镀膜的目的，提高了镀膜效率，简化了镀膜操作。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转盘 公用电极 分电极 开关电极 转动轴 镀膜 底面中心位置 顶面边缘位置 真空镀膜技术 一次抽真空 传动连接 底部中心 顶面中心 镀膜效率 连接固定 伺服电机 同轴设置 电极 上端 传统的 导电棒 导电柱 多工位 位置处 旋转式 多位 膜料 下端 悬置 加热 换位 蒸发 电源 | ||
【主权项】：
1.一种旋转式多位阻蒸舟，其特征是：包括电源、旋转盘、下公用电极和换位电极；在旋转盘的顶面中心位置处，同轴设置有一个环形的上公用电极；在旋转盘的顶面边缘位置处，设置有若干个分电极，若干个分电极以环形路径均匀分布，该环形路径与旋转盘同轴；在每个分电极与上公用电极之间悬置有一个阻蒸舟，在每个分电极的下方设置有一个导电柱，导电柱竖向穿设在旋转盘上，若干个导电柱以环形路径均匀分布，该环形路径与旋转盘同轴；在所述旋转盘的底面中心位置处，同轴设置有一个环形的开关电极，所述开关电极通过导电棒与上公用电极连接，导电棒竖向穿设在旋转盘上；所述旋转盘的底部中心与一个转动轴上端连接固定，转动轴下端与一个伺服电机传动连接；所述下公用电极和换位电极分别设置在转动轴的两侧，下公用电极位于环形的开关电极下方，换位电极位于导电柱的下方，下公用电极的下端与一个升降气缸一的活塞杆连接固定，换位电极的下端与一个升降气缸二的活塞杆连接固定；下公用电极的下方设置有接线柱一，换位电极的下方设置有接线柱二；所述电源、接线柱一、下公用电极、开关电极、导电棒、上公用电极、阻蒸舟、分电极、导电柱、换位电极、接线柱二依序构成电源回路；所述伺服电机与电源电连接；所述升降气缸一、二与气泵连通。/n
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