[发明专利]OPC修正方法及OPC修正装置有效
| 申请号： | 201910777988.5 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN112415855B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种OPC修正方法及OPC修正装置。所述OPC修正方法，包括如下步骤：分割一掩膜图案的边缘，形成多个片段；根据一预设规则获取每一所述片段中的原点；分别对每一所述原点进行多次循环步骤，获取与每一所述原点对应的多个重叠面积；根据各原点之间重叠面积的匹配程度对多个所述原点进行分组；采用相同的补偿值对同一组内各原点所在的片段进行修正；所述循环步骤包括：自所述原点向外延伸预设距离，形成关于所述原点中心对称的评估图形；获取所述评估图形与所述掩膜图案之间的重叠面积，并以所述评估图形整体作为下一次循环的原点。本发明大幅度提高了OPC修正的效率，节省了OPC修正的时间。 | ||
| 搜索关键词： | opc 修正 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910777988.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：焊锡装置及其系统控制器
- 下一篇：一种炒菜机菜谱推荐方法、炒菜机及服务器
