[发明专利]一种旋涂装置有效
| 申请号： | 201910780809.3 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110560282B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 杨进;郜晨希;刘金虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B05B3/10 | 分类号： | B05B3/10;B05B13/02 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋涂装置，属于表面涂覆技术领域，通过电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部，从而解决了现有技术中旋涂设备的密封性随着电机的高速旋转，经常有漏气情况发生的技术问题，达到了提高旋涂设备的密封能力和可靠性，提高整机气路的畅通，提高样片在设备中的吸附能力，延长设备使用寿命的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
1.一种旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置包括：/n电机，所述电机具有一竖直方向上设置的转动轴；/n样片托盘，所述样片托盘位于所述转动轴的顶端；/n转盘，所述转盘设置在所述样片托盘的下方，且所述转盘与所述样片托盘之间具有第一预设距离；/n腔室，所述腔室设置在所述转盘的下方，且所述腔室与所述转盘之间具有第二预设距离；/n弹性件，所述弹性件设置在所述腔室的底端，且所述弹性件套设在所述转动轴外部。/n
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