[发明专利]热介质的混合装置及冷却装置有效
| 申请号： | 201910781413.0 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN111495263B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 权珍汉;南廷旭;潘润植;金鹤九;徐锡源 | 申请（专利权）人： | 尤内深股份公司 |
| 主分类号： | B01F35/92 | 分类号： | B01F35/92;B01F35/221 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 李盛泉;孙昌浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种热介质的混合装置及冷却装置。本发明公开了一种在维持制造工序所需的热介质的流量或压力的同时通过PID控制可实现精密温度控制的热介质的混合装置。所述混合装置包括：冷却通道阀门，连接于冷却装置的冷却通道而供给或回收热介质；加热通道阀门，连接于加热通道而供给或回收热介质；以及循环泵，设置于由朝向制造设备的供给线和来自所述制造设备的回收线而形成的闭环，其中，供给至所述制造设备的热介质的流量和压力借由所述循环泵而得到维持，温度借由所述各阀门的开启率而得到调整。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 混合 装置 冷却 | ||
【主权项】：
暂无信息
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