[发明专利]检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201910782399.6 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110865293B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 深见美行 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 汤国华 |
| 地址： | 日本国东京都武藏*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查装置及检查方法，考虑作为探针的接触目的地的电极端子的尺寸信息，使可动轴驱动部的动作速度可变，以缩短检查时间。本发明的检查装置具有多个可动探针，使各可动探针与被检查基板上的多个检查对象物的每一个接触，以测定多个检查对象物间的电气特性，该检查装置具有：多个可动部，其支承各可动探针，使各可动探针在多个轴向上移动，从而将各可动探针定位在检查对象物的位置，使各可动探针与检查对象物接触；驱动部，其驱动使各可动探针移动的各可动部；以及驱动控制部，其根据作为各可动探针的下一个接触目的地的检查对象物的尺寸信息，控制使各可动探针移动的各可动部的动作速度。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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