[发明专利]一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置在审

专利信息
申请号: 201910788099.9 申请日: 2019-08-26
公开(公告)号: CN110402008A 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 高跃生;王翔;杨军;沈志平;袁江文;代礼彬;欧阳昌伟;聂矗;夏锐;倪凯凯;梁烛;秦欣 申请(专利权)人: 贵州正业龙腾新材料开发有限公司
主分类号: H05H1/28 分类号: H05H1/28
代理公司: 贵阳中新专利商标事务所 52100 代理人: 商小川
地址: 550005 贵州省贵阳市南明区*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 发明公共了一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置,料气管的出气口伸到所述内石英管的下端,上气管a和上气管b穿过所述上铜头的侧壁与所述内石英管接触,边轴向气管a和边轴向气管b穿过所述下铜头的侧壁与所述内石英管接触,下气管a和下气管b穿过所述下铜头的侧壁与所述外石英管接触,边切向气管a和边切向气管b穿过所述下铜头的侧壁与所述内石英管接触,边切向气管a和边切向气管b分别与所述内石英管的管壁相切。冷却气的进气量通过气体流量计调节控制,既能实现石英管内壁的冷却,能迅速降低等离子体焰横向温度,石英管不至于被等离子体焰高温激炸的目的,又能保证等离子体焰炬不被气流冲击扰动。
搜索关键词: 气管 石英管 侧壁 切向 铜头 穿过 高频等离子体 等离子体焰 分配装置 冷却气体 上气管 边轴 焰炬 等离子体焰炬 气体流量计 石英管内壁 气流冲击 出气口 进气量 冷却气 扰动 管壁 下端 相切 冷却 保证
【主权项】:
1.一种适用于高频等离子体焰炬的冷却气体分配装置,它包括包括上铜头(1),所述上铜头(1)和下铜头(2)螺纹连接,所述上铜头(1)和所述下铜头(2)为中空结构,中空结构内壁上设置有内螺纹,其特征在于:内石英管(3)外壁包裹保温石棉后卡接在所述上铜头(1)和所述下铜头(2)中空结构内壁的内螺纹上,外石英管(4)包裹保温石棉后卡接在所述下铜头(2)中空结构下端的内螺纹上;料气管(5)卡接在上铜头(1)中心,料气管(5)的出气口伸到所述内石英管(3)的下端;上气管a(6‑1)和上气管b(6‑2)穿过上铜头(1)的侧壁与内石英管(3)的外壁接触;边轴向气管a(7‑1)和边轴向气管b(7‑2)穿过下铜头(2)的侧壁与内石英管(3)外壁接触;下气管a(9‑1)和下气管b(9‑2)穿过下铜头(2)的侧壁与外石英管(4)外壁接触;边切向气管a(8‑1)和边切向气管b(8‑2)穿过下铜头(2)的侧壁与内石英管(3)外壁接触。
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