[发明专利]原子力显微镜在审
| 申请号： | 201910788619.6 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112433070A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;高德志 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种原子力显微镜包括晶圆夹取装置，用于固定晶圆，并使晶圆竖立；具有探针的第一微悬臂和第二微悬臂，所述第一微悬臂和第二微悬臂用于在晶圆竖立时，通过探针分别对晶圆的正面和背面进行扫描；第一位置检测装置和第二位置检测装置，分别用于检测第一微悬臂和第二微悬臂的偏移量，获得晶圆的正面和背面的形貌图像。由于晶圆夹取装置固定晶圆，并使晶圆竖立，在晶圆竖立时，晶圆所受的重力沿晶圆的表面垂直向下，使得重力对晶圆造成的影响降到最低，从而防止重力造成的晶圆弯曲或变形，通过第一微悬臂和第二微悬臂对竖立的晶圆的正面和背面进行扫描时，防止此弯曲或变形对测量结果的影响，从而提高对晶圆形貌测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
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