[发明专利]一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构在审
| 申请号： | 201910789300.5 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110398521A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 郭德明;王磊;梁保权;罗玉军;聂元建;庞邦舜;李春;陈丝雨;张文文;胡明雪 | 申请（专利权）人： | 广西玉柴机器集团有限公司;广西优艾斯提传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 广州海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 王洪娟;冼俊鹏 |
| 地址： | 537000 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，属于氮氧传感器技术领域，主要解决的是现有氮氧传感器灵敏度低、应用范围有限的技术问题，所述传感器结构包括衬底，所述衬底设有至少一个凹陷槽，各所述凹陷槽上方设有横跨其两侧的氮氧敏感单元，所述氮氧敏感单元的两端连接所述衬底顶部。本发明可以使氮氧敏感单元与氮氧气体360°全向接触，极大提高了传感器的灵敏度，同时由于氮氧敏感单元与凹陷槽不接触，衬底与氮氧敏感单元的接触面积小，发热面积小，可以达到降低热功耗的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 氮氧 敏感单元 凹陷槽 衬底 灵敏 传感器技术领域 传感器灵敏度 传感器结构 氮氧气体 不接触 灵敏度 热功耗 传感器 全向 发热 横跨 应用 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏凹陷槽NOx传感器结构，其特征在于，包括衬底(1)，所述衬底(1)设有至少一个凹陷槽(2)，各所述凹陷槽(2)上方设有横跨其两侧的氮氧敏感单元(3)，所述氮氧敏感单元(3)的两端连接所述衬底(1)顶部。
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