[发明专利]精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法有效
| 申请号： | 201910789388.0 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110455656B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;王赵鑫;张萌;张建海;刘鹏;周水龙;李聪;王顺博;王吉如;赵运来;赵久成;常枭;王文阳;候伟光 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N3/40 | 分类号： | G01N3/40;G01N3/42;G01N3/06;G01B7/02;G01B7/16;B81B7/02 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构及检测方法，属于微机械电子系统领域。包括绝缘体上硅三明治结构，主体器件层由探针、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构、两组法向静电梳齿结构I、两组法向静电梳齿结构II和多组弹簧结构组成，静电梳齿结构均由动极板和静极板交互叠加排列而成，动极板与探针构成动子，通过多组弹簧结构与定子相连。优点在于：基于静电驱动与电容检测原理，通过不同极板参数设计的静电梳齿结构，可实现双模式的纳米压痕/划痕测试，具有灵敏度高、可实现连续刚度测试等优点，在生物微机械操作等诸多领域也具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 感知 双模 一体化 微机 梳齿 结构 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精密作动/感知双模式一体化的微机械梳齿结构，其特征在于：包括金属层(11)、器件层(12)、牺牲层(13)和衬底层(14)，共同构成绝缘体上硅SOI三明治结构，其中器件层(12)由探针(15)、多组接线端子、两组横向静电梳齿结构(16)、两组法向静电梳齿结构I(17)、两组法向静电梳齿结构II(116)以及多组弹簧结构组成；各静电梳齿结构均由动极板和静极板交替排列而成，其中动极板与探针(15)构成动子，并通过多组弹簧结构与定子相连；微机械梳齿结构(1)属于微型器件，器件整体尺寸设定为L×(H1+H2+H3)×W，其中器件层(12)厚度为H1，牺牲层(13)厚度为H2，衬底层(14)厚度为H3。/n
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