[发明专利]一种引线键合可靠性检测系统及方法有效
| 申请号： | 201910789825.9 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110504182B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 任万春;蔡少峰;李科;邓波;陈凤甫;李力;吕晓英 | 申请（专利权）人： | 四川立泰电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安正华恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 61271 | 代理人： | 陈选中 |
| 地址： | 629000 四川省遂宁市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种引线键合可靠性检测系统及方法，涉及精密焊接技术领域，其中系统由传感器夹具、施力驱动模块、处理控制单元、数据处理模块以及电源模块组成，该系统结合安装于微型力传感器上的芯片，形成一套最大键合强度、破坏性可靠性与非破坏性可靠性测试的方法，模拟芯片的应用能准确模拟引线键合过程的材料场景，避免采用芯片成品进行破坏性测试造成的高成本；直接用于键合非破坏或破坏力大小测试，评估键合质量与可靠性，无需其它专用检测设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 引线 可靠性 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种引线键合可靠性检测系统，其特征在于，包括：/n传感器夹具，其为电动夹具，用于固定微型力传感器；/n施力驱动模块，其包括电动拉力机以及用于拉住键合引线的拉钩，所述拉钩连接在所述电动拉力机的施力端头；/n处理控制单元，其与所述传感器夹具以及所述电动拉力机电连接，分别用于控制所述传感器夹具的夹紧/松开动作以及控制所述电动拉力机对键合引线施加拉力；/n数据处理模块，其与所述处理控制单元电连接，用于接收并分析来自所述处理控制单元的数据，以及储存、显示所接收的数据和数据分析后得到的数据；/n电源模块，用于为所述处理控制单元、所述数据处理模块、所述电动拉力机以及所述传感器夹具供电。/n
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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