[发明专利]管式PECVD设备的压力控制装置

摘要

本发明公开了管式PECVD设备的压力控制装置，包括至少一组反应室，每组反应室对应设有VAT阀和主抽泵，各组反应室共用一个预抽泵，每组反应室包括第一反应室和第二反应室，每组反应室中的第一反应室通过第一主管路与主抽泵连通，第二反应室通过第二主管路与主抽泵连通，第一主管路与第二主管路并联形成汇流管路，汇流管路与主抽泵连接，VAT阀设于汇流管路上，各组反应室中的第一反应室均通过第一支管路与预抽泵连接，各组反应室中的第二反应室均通过第二支管路与预抽泵连接。本发明的核心在于两管共用主抽泵时，工艺过程是错开的，相当于时刻都只有一个主抽泵为一个反应室工作，其余时间另一管利用预抽泵工作，大大降低了设备的成本。

主权项

1.一种管式PECVD设备的压力控制装置，其特征在于：包括至少一组反应室，每组反应室对应设有VAT阀(1)和主抽泵(2)，各组反应室共用一个预抽泵(3)，每组反应室包括第一反应室(4)和第二反应室(5)，每组反应室中的第一反应室(4)通过第一主管路(6)与主抽泵(2)连通，每组反应室中的第二反应室(5)通过第二主管路(7)与主抽泵(2)连通，且第一主管路(6)与第二主管路(7)并联形成汇流管路(8)，所述汇流管路(8)与主抽泵(2)连接，所述VAT阀(1)设于汇流管路(8)上，各组反应室中的第一反应室(4)均通过第一支管路(9)与预抽泵(3)连接，各组反应室中的第二反应室(5)均通过第二支管路(10)与预抽泵(3)连接。