[发明专利]一种含锆膜层的褪除液及使用方法在审
| 申请号： | 201910792203.1 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110616432A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 赵力民;谢伟娜;黄思琪;邬钰娴;吴秋琴 | 申请（专利权）人： | 广东药科大学 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 11470 北京精金石知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘先荣 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种含锆膜层的褪除液及使用方法，属于真空镀膜技术领域。该褪除液由氧化剂、耦合剂和缓蚀剂溶于水配制而成。氧化剂的质量体积浓度为200g/L‑500g/L；耦合剂的质量体积浓度为40g/L‑120g/L；缓蚀剂的质量体积浓度为20g/L‑100g/L；本发明还提供上述褪除液的使用方法，包括以下步骤：将基件完全浸入含锆膜层的褪除液；将基件清洗干燥。本发明提供的褪除液可褪除含锆膜层，成本低、简单有效且不伤害基件，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 除液 基件 锆膜 氧化剂 耦合剂 真空镀膜技术 浸入 清洗干燥 缓蚀剂 水配制 伤害 应用 | ||
【主权项】：
1.一种含锆膜层的褪除液，其特征在于，包含氧化剂、缓蚀剂、耦合剂、水。/n
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