[发明专利]具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器有效
| 申请号： | 201910794404.5 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110940446B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 万永波 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01V9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 任霄;刘茜 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明题为“具有气泡检测能力的微型尺寸力传感器”。本发明提供了一种感光力传感器。示例性感光力传感器包括力感测设备，该力感测设备被配置为设置在基板的表面上；壳体，该壳体被配置为设置在该基板的表面的至少一部分上；和致动器，该致动器被配置为部分地设置在壳体内且部分地设置在由壳体限定的孔内。该壳体被配置为包封力感测设备。该孔被配置为提供耦合接口。该致动器与力感测设备机械接触。该致动器是刚体，其被配置为提供从壳体外部/之外的光源到力感测设备的光路。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气泡 检测 能力 微型 尺寸 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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