[发明专利]成膜装置和成膜方法以及太阳能电池的制造方法在审
| 申请号： | 201910795689.4 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110863180A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 松崎淳介;高桥明久 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;C23C14/58;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 鲁炜;李志强 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于，在使用多个基板保持器的通过型的成膜装置中，提供在例如异质结型太阳能电池中使用的基板的两面上形成高品质且均匀的透明导电氧化物膜的技术。本发明的解决手段是在能够沿着搬运路径而搬运基板(10)的真空槽(2)内，设置在基板(10)的第1面上进行溅射成膜的第1成膜区域(4)、在第1成膜区域(4)的搬运方向下游侧对在第1成膜区域中形成在基板(10)的第1面上的非晶状态的第1溅射膜进行真空退火处理的第1真空退火处理机构(21)、在基板(10)的第2面上进行溅射成膜的第2成膜区域(5)、和在第2成膜区域(5)的搬运方向下游侧对形成在基板(10)的第2面上的非晶状态的第2溅射膜进行真空退火处理的第2真空退火处理机构(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 太阳能电池 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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