[发明专利]一种用于共形光学元件的面形测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于共形光学元件的面形测量装置及方法；本发明包括水平基座、龙门式测量平台、X轴直线运动台、Z轴直线运动台、探头转台、距离传感器、工件转台、计算机；龙门式测量平台安装在所述水平基座上，X轴直线运动台安装于龙门式测量平台的横梁上；Z轴直线运动台固定于X轴直线运动台上；探头转台安装于Z轴直线运动台底端，距离传感器固定在探头转台上；工件转台固定在水平基座上，工件转台的回转轴线与传感器轴线在同一水平面上，计算机连接各运动组件，本发明通过多轴联动轨迹规划实现共形光学元件的跟踪扫描，突破高精度距离传感器的小量程限制，实现大陡度、高长径比共形光学元件的超精密面形检测。

主权项

1.一种用于共形光学元件的面形测量装置，其特征在于包括水平基座(1)、龙门式测量平台(2)、X轴直线运动台(3)、Z轴直线运动台(4)、探头转台(5)、距离传感器(6)、工件转台(8)、计算机(9)；/n所述龙门式测量平台(2)安装在所述水平基座(1)上，所述龙门式测量平台(2)含4个运动自由度；所述X轴直线运动台(3)安装于所述龙门式测量平台(2)的横梁上，可在水平面内运动；所述Z轴直线运动台(4)固定于所述X轴直线运动台上(3)，可在垂直面内运动；所述探头转台(5)安装于所述Z轴直线运动台(4)底端，所述距离传感器(6)固定在所述探头转台(5)上，随所述探头转台(5)转动而摆动；所述工件转台(8)固定在所述水平基座(1)上，所述工件转台(8)的回转轴线与所述传感器(6)轴线在同一水平面上；所述计算机(9)连接并控制所述X轴直线运动台(3)、Z轴直线运动台(4)、探头转台(5)、距离传感器(6)和工件转台(8)。/n