[发明专利]化学液体加热系统与化学机械抛光的方法在审
| 申请号： | 201910796845.9 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110871398A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 骥·崔;张家熏;陈志宏;陈亮光;林子凯;陈其贤;蒯光国 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34;B24B57/02;F24H1/00;F24H1/16;F24H9/18;F24H9/20;G05D23/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 龚诗靖 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及化学液体加热系统与化学机械抛光的方法。本揭露提供一种化学液体加热系统，所述化学液体加热系统包含：第一导管，用于输送化学液体；施配头，其经连接到所述第一导管；及辐射加热元件，其经配置以加热所述第一导管中的所述化学液体且经定位于所述施配头的上游处。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 液体 加热 系统 机械抛光 方法 | ||
【主权项】：
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