[发明专利]脆性材料的切割方法在审
| 申请号： | 201910801509.9 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN110480192A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 林柏青 | 申请（专利权）人： | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/402 |
| 代理公司： | 51226 成都希盛知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨冬梅;张行知<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脆性材料的切割方法，包括以下步骤：工件的表面设有若干预切割线，在所述工件的周缘形成若干浅沟槽，所述浅沟槽与所述预切割线的起始端相交；采用加热激光束照射所述工件的待切割区域，以对所述工件进行加热，并使所述加热激光束和所述工件沿所述预切割线相对移动；使所述工件上的加热区域快速冷却。上述切割方法，通过在工件的周缘加工出若干与预切割线的起始端相交的浅沟槽，在切割过程中，该浅沟槽能够防止偏离预切割线的裂纹进一步扩展。由于浅沟槽与预切割线相交，当裂纹扩展至浅沟槽所在区域时，浅沟槽能够对裂纹扩展方向起到引导作用，使得裂纹扩展方向最终回归至预切割线，提高切割良率。 | ||
| 搜索关键词： | 浅沟槽 预切割线 相交 裂纹扩展方向 切割 加热激光束 起始端 脆性材料 加热区域 快速冷却 裂纹扩展 切割过程 切割区域 所在区域 相对移动 引导作用 周缘加工 切割线 良率 加热 照射 偏离 干预 回归 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料的切割方法，其特征在于，包括以下步骤：/n工件的表面设有若干预切割线，在所述工件的周缘形成若干浅沟槽，所述浅沟槽与所述预切割线的起始端相交；/n采用加热激光束照射所述工件的待切割区域，以对所述工件进行加热，并使所述加热激光束和所述工件沿所述预切割线相对移动；/n使所述工件上的加热区域快速冷却。/n
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